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RTP快速升降温退火炉TF1200-100-SL-RTP
型号: TF1200-100-SL-RTP品牌: Micro-X产地: 上海
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| 型号: | TF1200-100-SL-RTP | | 品牌: | Micro-X | | 产地: | 上海 | | 仪器类型: | 管式炉 |
产品介绍 | 开启式RTP快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉管外径100mm，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30℃/S，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的。 | | 技术参数 | | 项目 | 主要技术指标 | 数据 | | 规格型号 | TF1200-100-SL-RTP | | | 温度控制 | ×高温度点 | 1200℃ | | 额定温度 | 1100℃ | | 稳定状态温度范围 | 200-1050℃ | | 温度测量精度 | ±0.2℃ | | 温度控制重复性 | ±1℃ | | 温度控制**度 | ±1℃ | | 温度均匀性 | ±2℃ | | 温度状态工艺时间 | 7-32 S(200-1050℃) | | *快升温速率 | 30℃/S(可按需定制) | | 降温速率 | 1-200℃(将试样移出加热区域或通氮气可加快降温) | | 温度控制模式 | 智能模糊PID全闭环控制 | | 触摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 | | 物理指标 | *大功率 | 18 Kw | | 额定电压 | AC380V，50/60Hz | | 测温元件型号 | K型热电偶 | | 石英管规格 | Φ100*1500 | | 真空度 | 选配分子泵真空度可达4*10-3Pa | | 抽气端口尺寸 | KF25或Φ6mm | | 进气端口尺寸 | Φ6mm | | 冷却方式 | 自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2) | | 外形尺寸 | 深500×宽1520×高620 | | 设备重量 | 80Kg |
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